WEKO3
アイテム
高融点金属イオン源の開発とイオンビームデポジションへの応用に関する研究
http://hdl.handle.net/2241/6393
http://hdl.handle.net/2241/639378e66529-64f1-430b-b565-a68785f2be99
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2007-07-25 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja | |||||
タイトル | 高融点金属イオン源の開発とイオンビームデポジションへの応用に関する研究 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
タイプ | doctoral thesis | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
著者 |
吉田, 善一
× 吉田, 善一 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 本研究の背景と対象 半導体を中心とした電子デバイスの分野では、微細化、高集積化、積層化に伴い、薄膜加工技術において、三次元方向に原子オーダ(~10Å)の制御性が要求されている。それを実現するためには、現行の薄膜加工技術だけでは不十分であると ... | |||||
言語 | ja | |||||
書誌情報 |
発行日 1989 |
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取得学位 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
取得学位 | ||||||
学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
学位授与大学 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 12102 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
学位授与年度 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 1989 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 1989-07-31 | |||||
報告番号 | ||||||
学位授与番号 | 乙第533号 |