WEKO3
アイテム
パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性
http://hdl.handle.net/2241/113090
http://hdl.handle.net/2241/113090359346d8-75bc-4239-b63c-e924cfe6f116
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2011-05-26 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja | |||||
タイトル | パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
タイプ | thesis | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
著者 |
染谷, 満
× 染谷, 満 |
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内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 【要旨】 | |||||
言語 | ja | |||||
書誌情報 |
発行日 2011 |
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取得学位 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
取得学位 | ||||||
学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
学位授与大学 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 12102 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
学位授与年度 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 2010 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2011-03-25 | |||||
報告番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第5635号 |