@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00024446,
 author = {染谷, 満},
 month = {},
 note = {2010, 【要旨】},
 title = {パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性},
 year = {2011}
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