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アイテム
低加速電子線 SEM / STEM を用いた局在場可視化技術
http://hdl.handle.net/2241/00151877
http://hdl.handle.net/2241/00151877aff524b8-97be-4ffe-aca8-1fe7d2504f3d
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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JVSJ_60-10.pdf (1.1 MB)
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Item type | Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2018-06-04 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 低加速電子線 SEM / STEM を用いた局在場可視化技術 | |||||
言語 | ja | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Visualization of Localized Field Using Deflection of Low-Energy Electron Beam with SEM/STEM | |||||
言語 | en | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | journal article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
著者 |
藤田, 淳一
× 藤田, 淳一 |
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書誌情報 |
ja : Journal of the Vacuum Society of Japan (真空) 巻 60, 号 10, p. 397-405, 発行日 2017-10 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
収録物識別子 | 1882-2398 | |||||
NCID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00119871 | |||||
DOI | ||||||
関連タイプ | isVersionOf | |||||
識別子タイプ | DOI | |||||
関連識別子 | https://doi.org/10.3131/jvsj2.60.397 | |||||
権利情報 | ||||||
言語 | en | |||||
権利情報 | © 2017 The Vacuum Society of Japan | |||||
出版タイプ | ||||||
出版タイプ | AM | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 公益社団法人日本表面真空学会 | |||||
言語 | ja | |||||
出版者別名 | ||||||
出版者 | The Vacuum Society of Japan | |||||
言語 | en | |||||
関連情報 | ||||||
関連タイプ | isVersionOf | |||||
識別子タイプ | URI | |||||
関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/60/10/60_17-RV-022/_article |