WEKO3
アイテム
Development of ΔE-E telescope ERDA with 40MeV 35Cl7+ beam at MALT in the University of Tokyo optimized for analysis of metal oxynitride thin films
http://hdl.handle.net/2241/00144266
http://hdl.handle.net/2241/0014426657ae4e0a-8a94-4b20-b93c-bfc8bf38906f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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NIMB_384.pdf (772.4 kB)
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.png)
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| Item type | Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-11-02 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Development of ΔE-E telescope ERDA with 40MeV 35Cl7+ beam at MALT in the University of Tokyo optimized for analysis of metal oxynitride thin films | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||
| 著者 |
Harayama, I.
× Harayama, I.× Nagashima, K.× Hirose, Y.× Matsuzaki, H.× 関場, 大一郎
WEKO
125983
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| 書誌情報 |
en : Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 巻 384, p. 61-67, 発行日 2016-10 |
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| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 0168-583X | |||||||||||
| NCID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AA10529980 | |||||||||||
| DOI | ||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2016.07.019 | |||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 権利情報 | © 2016. This manuscript version is made available under the CC-BY-NC-ND 4.0 license http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
