WEKO3
アイテム
CMOS向け高誘電率ゲート絶縁膜の長期信頼性
http://hdl.handle.net/2241/00122229
http://hdl.handle.net/2241/00122229eb999487-4bfa-4d60-a452-5bb7cdf17fa8
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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A6749.pdf (200.2 kB)
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Item type | Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2014-10-17 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja | |||||
タイトル | CMOS向け高誘電率ゲート絶縁膜の長期信頼性 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
タイプ | thesis | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
著者 |
藤井, 泉
× 藤井, 泉 |
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内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 【要旨】 | |||||
言語 | ja | |||||
書誌情報 |
発行日 2014 |
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取得学位 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
取得学位 | ||||||
学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
学位授与大学 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 12102 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
学位授与年度 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 2013 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2014-02-28 | |||||
報告番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第6749号 | |||||
リンク |
CMOS向け高誘電率ゲート絶縁膜の長期信頼性
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