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アイテム
半導体リソグラフィーにおけるレジストモデルの線形方程式への定式化とその解法に関する研究
https://doi.org/10.15068/0002000759
https://doi.org/10.15068/000200075957280194-210a-4582-b74b-1767b2d35cad
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
DA10010.pdf
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| Item type | アイテムタイプT(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2021-07-28 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 半導体リソグラフィーにおけるレジストモデルの線形方程式への定式化とその解法に関する研究 | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||
| ID登録 | 10.15068/0002000759 | |||||||||||
| 著者 |
木村, 泰己
× 木村, 泰己
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| 書誌情報 |
発行日 2021 |
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| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| 取得学位 | ||||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||||
| 取得学位 | ||||||||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||||||||
| 学位授与大学 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||||||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||||
| 内容記述 | 2020 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2021-03-25 | |||||||||||
| 報告番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第10010号 | |||||||||||
