@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:02000759,
 author = {木村, 泰己 and Kimura, Taiki},
 month = {},
 note = {2020},
 school = {筑波大学, University of Tsukuba},
 title = {半導体リソグラフィーにおけるレジストモデルの線形方程式への定式化とその解法に関する研究},
 year = {2021},
 yomi = {キムラ, タイキ}
}