WEKO3
アイテム
Quartz micromachining using laser plasma soft x rays and ultraviolet laser light
http://hdl.handle.net/2241/104197
http://hdl.handle.net/2241/104197ecc59d0a-3af7-418d-9271-b331aa53644e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
APL_85-7.pdf (100.7 kB)
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| Item type | Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-12-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Quartz micromachining using laser plasma soft x rays and ultraviolet laser light | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
牧村, 哲也
× 牧村, 哲也× Mitani, Shinjo× Kenmotsu, Youichi× 村上, 浩一× Mori, Michiaki× Kondo, Kiminori |
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| 書誌情報 |
en : Applied Physics Letters 巻 85, 号 7, p. 1274-1276, 発行日 2004-08 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0003-6951 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00543431 | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1063/1.1782265 | |||||
| 権利情報 | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 権利情報 | © 2004 American Institute of Physics | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | AIP Publishing | |||||
| 言語 | en | |||||
