WEKO3
アイテム
シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法
http://hdl.handle.net/2241/3225
http://hdl.handle.net/2241/322513ea052e-e74b-478f-bea6-48e803d8aafa
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A3274.pdf (123.0 kB)
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| Item type | アイテムタイプT(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-12-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
北條, 大介
× 北條, 大介 |
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| 書誌情報 |
発行日 2003 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 注記 | ||||||
| 内容記述 | 【要旨】 | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与大学 | ||||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述 | 2003 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2003-07-25 | |||||
| 報告番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第3274号 | |||||
