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  1. コンテンツタイプ
  2. 博士論文 内容・審査の要旨
  3. 工学(要旨)

シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法

http://hdl.handle.net/2241/3225
http://hdl.handle.net/2241/3225
13ea052e-e74b-478f-bea6-48e803d8aafa
名前 / ファイル ライセンス アクション
A3274.pdf A3274.pdf (123.0 kB)
Item type アイテムタイプT(1)
公開日 2007-12-03
タイトル
タイトル シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ thesis
著者 北條, 大介

× 北條, 大介

WEKO 48422

ja 北條, 大介

en Houjou, Daisuke

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書誌情報
発行日 2003
アクセス権
アクセス権 open access
注記
内容記述 【要旨】
取得学位
学位名 博士(工学)
取得学位
学位名 Doctor of Philosophy in Engineering
学位授与大学
学位授与機関名 筑波大学
学位授与機関名 University of Tsukuba
学位授与年度
内容記述 2003
学位授与年月日
学位授与年月日 2003-07-25
報告番号
学位授与番号 甲第3274号
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Ver.1 2021-03-02 09:29:52.333322
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