@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00013084, author = {北條, 大介 and Houjou, Daisuke}, month = {}, note = {2003, 【要旨】}, title = {シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法}, year = {2003} }