WEKO3
アイテム
結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究
http://hdl.handle.net/2241/3068
http://hdl.handle.net/2241/30689f5f3931-26a0-44bf-b77c-9b516019b12a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A0460.pdf (189.8 kB)
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| Item type | アイテムタイプT(1) | |||||
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| 公開日 | 2007-12-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
伊藤, 久義
× 伊藤, 久義 |
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| 書誌情報 |
発行日 1987 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 注記 | ||||||
| 内容記述 | 【要旨】 | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与大学 | ||||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述 | 1986 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 1987-03-25 | |||||
| 報告番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第460号 | |||||
