@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012941, author = {伊藤, 久義 and Itou, Hisayoshi}, month = {}, note = {1986, 【要旨】}, title = {結晶Siにおけるイオン注入軽元素不純物の挙動に関する研究}, year = {1987} }