WEKO3
アイテム
ウエハ検査装置のための光学式高さセンサと主要光学部品の開発
http://hdl.handle.net/2241/00143318
http://hdl.handle.net/2241/0014331862550919-0664-45cc-8c83-720ab8b2ef8e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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A7666.pdf (272.3 kB)
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| Item type | Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2016-07-20 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of an optical height sensor and key optical components for wafer inspection systems | |||||
| 言語 | en | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ウエハ検査装置のための光学式高さセンサと主要光学部品の開発 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
志村, 啓
× 志村, 啓 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述 | 【要旨】 | |||||
| 書誌情報 |
発行日 2016 |
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| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与大学 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 12102 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
| 言語 | en | |||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2015 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2016-03-25 | |||||
| 報告番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第7666号 | |||||
| リンク |
Development of an optical height sensor and key optical components for wafer inspection systems
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