WEKO3
アイテム
高速原子間力顕微鏡を用いたレジスト溶解過程のその場観察に関する研究
http://hdl.handle.net/2241/00123314
http://hdl.handle.net/2241/001233146db989c6-b13e-422c-84c1-773b15b1435b
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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DA06821_abstract.pdf (155.9 kB)
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Item type | Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2015-02-19 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | ja | |||||
タイトル | 高速原子間力顕微鏡を用いたレジスト溶解過程のその場観察に関する研究 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
タイプ | doctoral thesis | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
著者 |
SANTILLAN, JULIUS JOSEPH SUDLAY
× SANTILLAN, JULIUS JOSEPH SUDLAY |
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内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | この博士論文は内容の要約のみ公表しています | |||||
言語 | ja | |||||
書誌情報 |
発行日 2014 |
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取得学位 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
取得学位 | ||||||
学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
学位授与大学 | ||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
学位授与機関識別子 | 12102 | |||||
言語 | ja | |||||
学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
言語 | en | |||||
学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
学位授与年度 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 2013 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2014-03-25 | |||||
報告番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第6821号 |