WEKO3
アイテム
エッチングプロセスにおける気相および表面反応の研究
http://hdl.handle.net/2241/119654
http://hdl.handle.net/2241/119654244aa736-8b01-4a8f-80af-ef68f3d82d37
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A6418.pdf (203.7 kB)
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| Item type | アイテムタイプT(1) | |||||
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| 公開日 | 2013-09-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | エッチングプロセスにおける気相および表面反応の研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
田中, 潤一
× 田中, 潤一 |
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| 書誌情報 |
発行日 2013 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 注記 | ||||||
| 内容記述 | 【要旨】 | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与大学 | ||||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述 | 2012 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2013-03-25 | |||||
| 報告番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第6418号 | |||||
