WEKO3
アイテム
論理高集積回路に向けたニッケルシリサイド薄膜のナノ組織制御
http://hdl.handle.net/2241/116913
http://hdl.handle.net/2241/116913bbad3003-046d-4deb-9524-49b17a130c17
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A6033.pdf (210.7 kB)
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| Item type | アイテムタイプT(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-04-26 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 論理高集積回路に向けたニッケルシリサイド薄膜のナノ組織制御 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
二瀬, 卓也
× 二瀬, 卓也 |
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| 書誌情報 |
発行日 2012 |
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| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| 注記 | ||||||
| 内容記述 | 【要旨】 | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 取得学位 | ||||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与大学 | ||||||
| 学位授与機関名 | 筑波大学 | |||||
| 学位授与機関名 | University of Tsukuba | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述 | 2011 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2012-03-23 | |||||
| 報告番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第6033号 | |||||
