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アイテム / パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性 / A5635
A5635
ファイル | ライセンス |
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A5635.pdf (156.8 kB) sha256 030e1fe0156ac43eceb7a4a867db2c135b022a7263778f83f00f870a6e1bc354 |
公開日 | 2011-05-26 | |||||
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ファイル名 | A5635.pdf | |||||
本文URL | https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/24446/files/A5635.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | abstract | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 156.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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