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Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams
http://hdl.handle.net/2241/0002004638
http://hdl.handle.net/2241/0002004638d4b132c6-8837-487d-9c3e-151ee8cef86b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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JAP_128-8.pdf (3.4 MB)
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| Item type | Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2022-07-11 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
上殿 明良
× 上殿 明良× Shojiki Kanako
× Uesugi Kenjiro
× Chichibu Shigefusa F.
× Ishibashi Shoji
× Dickmann Marcel
× Egger Werner
× Hugenschmidt Christoph
× Miyake Hideto
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| 書誌情報 |
en : Journal of Applied Physics 巻 128, 号 8, p. 85704, 発行日 2020-08 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0021-8979 | |||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00693547 | |||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1063/5.0015225 | |||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2020 Author(s). | |||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 権利情報 | This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. This article appeared in Journal of Applied Physics 128, 085704 (2020) and may be found at https://doi.org/10.1063/5.0015225. | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
