WEKO3
アイテム
Systematic study on work-function-shift in metal/Hf-based high-k gate stacks
http://hdl.handle.net/2241/102304
http://hdl.handle.net/2241/102304a956ddaf-3582-435a-b485-fb31770a4b5b
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2009-04-24 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Systematic study on work-function-shift in metal/Hf-based high-k gate stacks | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | journal article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | open access | |||||
著者 |
Kita, Yuki
× Kita, Yuki× Yoshida, Shinichi× Hosoi, Takuji× Shimura, Takayoshi× 白石, 賢二× Nara, Yasuo× Yamada, Keisaku× Watanabe, Heiji |
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書誌情報 |
en : Applied Physics Letters 巻 94, 号 12, p. 122905, 発行日 2009-03 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
収録物識別子 | 0003-6951 | |||||
NCID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AA00543431 | |||||
DOI | ||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
関連識別子 | https://doi.org/10.1063/1.3103314 | |||||
権利情報 | ||||||
権利情報 | © 2009 American Institute of Physics | |||||
出版タイプ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | AIP Publishing |