@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00008804,
 author = {渡部, 誉之 and Watanabe, Shigeyuki},
 month = {},
 note = {近年、セラミックスが活躍する領域は極めて広い。そして、セラミックス薄膜の形成技術および評価技術の進歩には、目覚しいものがある。これは一つには半導体製造プロセスの発展に負うところが大である。 ..., 1998},
 school = {筑波大学, University of Tsukuba},
 title = {ラジカルビームソースを用いた新規セラミックス薄膜合成法に関する研究},
 year = {1999}
}