@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00008746, author = {蔡, 明宏}, month = {}, note = {単色光源とワイドバンドスペクトル光源を用いた高さ、形状の測定の相違点について述べる。そして、透過型計測と反射型計測による多層構造吸収スペクトルと厚さの同時測定について述べる。 背景・研究目的 形状、高さの測定では、ギャップの大きい測定対象を測る場合 ..., 1999}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {ワイドバンドスペクトル光源を用いた干渉計測に関する研究}, year = {2000} }