@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00055149, author = {清水, 悠佳}, month = {}, note = {2019}, title = {ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究}, year = {2020}, yomi = {シミズ, ハルカ} }