@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00053312, author = {阿部, 豊 and ABE, Yutaka}, month = {}, note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書:基盤研究(B)2015-2017課題番号 : 15H03925}, title = {静電場・超音波ハイブリット浮遊法を用いた非接触無容器プロセス制御技術の開発}, year = {2018}, yomi = {アベ, ユタカ} }