@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00051181, author = {周防, 裕政}, month = {}, note = {2018, この博士論文は内容の要約のみの公開(または一部非公開)になっています}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {コドーピング法を用いたパワーデバイス向け低抵抗n型4H-SiC単結晶の研究}, year = {2019}, yomi = {スオウ, ヒロマサ} }