@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00051170, author = {神, 好人}, month = {}, note = {2018, この博士論文は、全文公表に適さないやむを得ない事由があり要約のみを公表していましたが、解消したため、2023年(令和5年)5月15日に全文を公表しました。}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {ECRプラズマ流を用いた高精度加工技術の研究}, year = {2019}, yomi = {ジン, ヨシト} }