@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00048818,
 author = {奥村, 宏典 and OKUMURA, Hironori},
 month = {},
 note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書：研究活動スタート支援2015-2016課題番号 : 15H06070},
 title = {InAlN層におけるデバイスプロセス中に発生した欠陥評価とその電気的特性への影響},
 year = {2017},
 yomi = {オクムラ, ヒロノリ}
}