@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00047365,
 author = {濱田, 公守},
 month = {},
 note = {2017, 【要旨】},
 title = {SiC m面におけるNO窒化によるゲート酸化膜界面特性改善に関する研究},
 year = {2017}
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