@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00044174, author = {岡本, 大 and Okamoto, Dai}, month = {}, note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書:若手研究(B)2014-2015課題番号 : 26820136}, title = {新規界面原子導入による高移動度SiC MOSFET作製技術の確立}, year = {2016}, yomi = {オカモト, ダイ} }