@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00043898, author = {秋本, 克洋 and AKIMOTO, Katsuhiro}, month = {}, note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書:基盤研究(B)2013-2015課題番号 : 25289083}, title = {水素化アモルファスカーボンの薄膜作成と物性制御}, year = {2016} }