@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00043308, author = {東, 悠介}, month = {}, note = {2016}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {シリコンMOSゲートSiO2膜欠陥の詳細解析および水素による絶縁膜劣化モデリング}, year = {2017} }