@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00043237, author = {久保, 優吾}, month = {}, note = {2016, 【要旨】}, title = {電子顕微鏡を用いた高感度局所元素分析技術の開発とデバイス信頼性評価への応用研究}, year = {2017} }