@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00043227, author = {東, 悠介}, month = {}, note = {2016, 【要旨】}, title = {シリコンMOSゲートSiO2膜欠陥の詳細解析および水素による絶縁膜劣化モデリング}, year = {2017} }