@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00034288,
 author = {矢野, 裕司 and Yano, Hiroshi},
 month = {},
 note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書：若手研究(B)2011-2013 
課題番号：23760283},
 title = {異種原子導入によるSiC／絶縁膜界面欠陥の消滅とパワーMOSFETの革新},
 year = {2014},
 yomi = {ヤノ, ヒロシ}
}