@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00034097, author = {牧村, 哲也 and MAKIMURA, Tetsuya}, month = {}, note = {科学研究費助成事業 研究成果報告書:基盤研究(B)2010-2013 課題番号:22360016}, title = {ポリジメチルシロキサンの軟X線直接加工}, year = {2014}, yomi = {マキムラ, テツヤ} }