@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00030993, author = {恩田, 正一}, month = {}, note = {2013}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {4H-SiCにおける結晶欠陥の微細構造とデバイス特性への影響に関する研究}, year = {2013} }