WEKO3
アイテム / Microscopic origins of dry-etching damages in silicon large-scaled integrated circuits revealed by electrically detected magnetic resonance / APL_104-8
APL_104-8
ファイル | ライセンス |
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APL_104-8.pdf (2.6 MB) sha256 a361f7fcfb89abd2989548057579a43cb8d1361377110aef4832c9abc4aa80c1 |
公開日 | 2014-05-01 | |||||
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ファイル名 | APL_104-8.pdf | |||||
本文URL | https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/30854/files/APL_104-8.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 2.6 MB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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