@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00029325,
 author = {村田, 晃一},
 month = {},
 note = {2012, 【要旨】},
 title = {シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法},
 year = {2013}
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