@phdthesis{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00029138, author = {鈴木, 輝夫}, month = {}, note = {2012}, school = {筑波大学, University of Tsukuba}, title = {ナノスケールSi半導体デバイスの コンポーネントレベルESDに関する研究}, year = {2013}, yomi = {スズキ, テルオ} }