@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00028658,
 author = {有馬, 澄佳 and ARIMA, SUMIKA},
 month = {},
 note = {科学研究費助成事業(科学研究費補助金)研究成果報告書：若手研究(B)2009-2011
課題番号：21760303},
 title = {QCDモデルに基づくマルチチャンバ装置および生産ラインの運用・設計方法},
 year = {2012},
 yomi = {アリマ, スミカ}
}