@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00027117,
 author = {河田, 泰之},
 month = {},
 note = {2011, 【要旨】},
 title = {高温アニールによるSiCエッチング形状の変形と変形メカニズムに関する研究},
 year = {2011}
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