@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00000250, author = {佐野, 伸行 and Sano, Nobuyuki}, month = {}, note = {科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ~ 平成14-15年度 課題番号: 14550315}, title = {極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築}, year = {2004}, yomi = {サノ, ノブユキ} }