@techreport{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00000249, author = {白石, 賢二 and Shiraishi, Kenji}, month = {}, note = {科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ~ 平成14-15年度 課題番号: 14550020}, title = {シリコン熱酸化の界面素過程に関する理論的研究}, year = {2004} }