@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:02000557, author = {木村, 泰己 and Kimura, Taiki}, month = {}, note = {2020, 【要旨】}, title = {半導体リソグラフィーにおけるレジストモデルの線形方程式への定式化とその解法に関する研究}, year = {2021}, yomi = {キムラ, タイキ} }