@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00019491, author = {熊谷, 和博}, month = {}, note = {2009, 【要旨】}, title = {低加速電圧走査型電子顕微鏡法による無機薄膜観察と像形成原理の研究}, year = {2010} }