@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00013027,
 author = {奥津, 和俊 and Okutsu, Kazutoshi},
 month = {},
 note = {2003, 【要旨】},
 title = {Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用},
 year = {2004}
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