@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00013021,
 author = {武藤, 勝彦 and Mutou, Katsuhiko},
 month = {},
 note = {1992, 【要旨】},
 title = {光デバイス製作用ドライプロセス技術の研究},
 year = {1992}
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