@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012949, author = {藤井, 映志 and Fujii, Eiji}, month = {}, note = {1995, 【要旨】}, title = {プラズマMOCVD法による酸化物機能性薄膜の作製とその応用に関する研究}, year = {1995} }