@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012893,
 author = {鈴木, 俊治 and Suzuki, Toshiharu},
 month = {},
 note = {2002, 【要旨】},
 title = {半導体素子製造におけるプロセス誘起欠陥の熱処理による制御に関する研究},
 year = {2002}
}