@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012885, author = {吉田, 岳人 and Yoshida, Takehito}, month = {}, note = {1992, 【要旨】}, title = {チタンシリサイド薄膜の固相反応形成とVLSIデバイスへの応用に関する研究}, year = {1992} }